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GF80 / GF81 系列金属密封热品质流量节制器和仪表

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GF80 / GF81 系列金属密封热品质流量节制器和仪表

流量规模 满量程容量 : GF80 : 3 sccm – 50 slm ;

                                       GF81 : 51-300 slm

精度 : GF80 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 2-35% ;

          GF81 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 5-35%

反复性 : GF80 : <±0.20% S.P. ;

              GF81 : 0.15% S.P.

摹拟通讯 : 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

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相干先容

对很多产业和半导体加工进程,机能和本钱效力一样主要。GF80 系列金属密封品质流量节制器具有以下两个特色:设想接纳与最滞销的 GF100 系列呼应速率不异的传感器和第四代 MultiFlo™ 专利手艺,该产物相对是高性价比经营的准确挑选。别的,金属密封的 MFC 具有 MultiFloTM 多气体/大批程功效所带来的全数上风,缘由是可用气体方面没无限定并且因为不会产生弹性体氧渗入而晋升了气体纯度,同时还因为金属密封件有用期相称长而削减了保护任务量。

 

特色

* 持久零点不变性,每一年变更小于满量程的 ± 0.5%

* 1 秒内不变

* 满量程流速高达 300 slpm

* 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 外表处置

* 耐侵蚀 Hastelloy® 传感器可在较高温度下任务,合用于易产生热分化的气体

* 可编程 MultiFloTM 功效 - 一台装备便可满够数千种气体范例和各类量程组合的须要,无需从气路上拆 除 MFC 并且不影响精度

* 经由进程有源温度弥补完成的一流温度系数标准

* 内嵌式惯例自检功效和自力的诊断/保护端口

* 带有 VCR 配件的细线体设想

* DeviceNetTMProfibus®RS-485 和摹拟接口

 

上风

* 1 秒完成流量不变,消弭废气和进程变量影响

* 未接纳会产生氧渗入并且利用必然时候以后须要停止改换的弹性体密封件

* MultiFloTM 精简了进程气体切换操纵无需再撤除偏重新校准 MFC

* 60 秒内便可完成新气体和/或量程的设定操纵

* 丈量精度不受温度变更影响

* 可轻松拜候诊断端口以完成运转时候最大化

* 规格松散,可轻松集成至严重的装备空间内;装备改型的绝佳挑选

* 多和谈通讯接口可简化向现有体系的集成操纵

 

利用

* 对创新后的半导体加工东西中的原有 MFC 停止经济高效的改型/进级

* 削减六英寸/八英寸半导体工场的 MFC 库存

* 用于 LED 和功率器件出产的 MOCVD

* 太阳能/薄膜化学气相堆积 (CVD) 体系

* 阐发用 OEM 装备
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