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GF40 系列橡胶密封热式品质流量计和节制器

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GF40 系列橡胶密封热式品质流量计和节制器

流量规模-满量程容量 : 3 sccm – 50 slm

精度 : ±1% S.P. 35-100% , ±0.35% F.S. 2-35%

最大压力 : 150 psig / 10 bar

反复性 : <0.20% S.P.

摹拟通讯 : 0-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA
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相干先容

利用一台装备应答多种气体相称于实现了工艺矫捷性和出产效力最大化。接纳布鲁克斯仪器独占 MultiFlo™ 手艺的 GF40 系列橡胶密封热式品质流量计和节制器很是合用于那些利用多种气体、须要频仍切换气体范例或是须要在保障气体丈量和节制精确性的同时从头设定丈量规模的体系、工艺和举措措施。该产物与史无前例的流量丈量和节制机能相连系,可以或许将工艺矫捷性晋升至新高度。

 

特色

* 可编程多气体/大批程功效

* Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包罗数千种自然气体测定成果,可用于成立批改函数

* 流量呼应时候缺乏 1 秒,精度可达方针利用设定值的 1%

* 很是合用于各类气体

* 疾速呼应,哈氏合金传感器

* 具有自力于东西通讯并可轻松接入的诊断办事端口

* 多和谈通讯选件包含 DeviceNet™EtherCAT®Profibus® RS-485 摹拟接口

 

上风

* MultiFlo™ 手艺可以或许在不撤除管路中 MFC 的前提下设定新气体和满量程,从而最大限制耽误运转时候

* MultiFlo™ 编程功效简略、易用;60 s 内便可实现新气体的挑选操纵

* 可大幅下降装备商和大型终端用户的流量节制器库存

* 得益于基于国际规范的高等计量体系和校准手艺,产物具有超卓的工艺气体丈量精度

* 耐侵蚀传感器具有无可相比的持久不变性,可确保良率和产能最大化

* 对用户开放的办事端口简化了毛病解除和诊断操纵

* 各类橡胶密封件为各类利用供给了经济实惠的机能矫捷性

* 多和谈通讯接口可集成至现有体系

 

利用

* 太阳能电池化学气相堆积

* 性命迷信尝试室

* 真空处置

* 纳米手艺/MEMS 制作

* 等离子体、玻璃和卷绕镀膜体系

* 很是合用于管汇体系/气体保送体系
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